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 Experimental and simulation study of UV laser micromachining high-aspect-ratio microchannels of diamond heat sink 相关领域
材料科学
散热片
表面微加工
钻石
激光烧蚀
激光器
热的
微加工
烧蚀
光电子学
多物理
纳米技术
金刚石车削
体微机械加工
解耦（概率）
传热
热撒布器
金刚石工具
蚀刻（微加工）
纳米光刻
微电子机械系统
机械工程
光学
制作
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期刊：Journal of Manufacturing Processes 作者：Jianlei Cui; Haozhe Kang; Xiangyang Dong; Zheng Sun; Xialun Yun; et al 出版日期：2025-10-24 |
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(2025-6-4)
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