Alumina layers deposited with different precursors by atomic layer deposition and magnetron sputtering: negative charge and its origin

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标题	Alumina layers deposited with different precursors by atomic layer deposition and magnetron sputtering: negative charge and its origin
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2025.140819
DOI	10.1016/j.tsf.2025.140819 doi
求助人	lycoris 在 2026-01-29 14:49:48 发布自浙江，悬赏 10 积分
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