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 A Temperature-Insensitive Micromachined Resonant Accelerometer with Thermal Stress Isolation 具有热应力隔离的温度不敏感微机械谐振加速度计
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期刊： 作者：Yonggang Yin; Zhengxiang Fang; Jingxin Dong; Yunfeng Liu; Fengtian Han 出版日期：2018-10-01 |
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