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Integrated LCOS-SLM-Based Laser Slicing System for Aberration Correction in Silicon Carbide Substrate Manufacturing
基于LCOS-SLM的集成激光切片系统在碳化硅衬底制造中的像差校正
相关领域
材料科学 光学 硅上液晶 激光器 激光功率缩放 切片 镜头(地质) 碳化硅 光电子学 液晶显示器 复合材料 计算机科学 物理 万维网
网址
DOI
10.3390/mi16080930 doi
其它 期刊:Micromachines
作者:Heng Wang; Qiang Cao; Yuting Hou; Lulu Yu; Tianhao Wu; et al
出版日期:2025-08-13
求助人
天地不语 在 2025-12-25 14:24:02 发布自广东,悬赏 10 积分
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