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标题
Electrical characterization and inspection of contact plugs using laser-assisted SEM
使用激光辅助扫描电镜对接触插头进行电表征和检查
相关领域
表征（材料科学） 材料科学 电接点 激光器 激光扫描 复合材料 光学 纳米技术 物理
网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.3011058
DOI
10.1117/12.3011058 doi
其它 期刊：
作者：Minami Shoji; Yohei Nakamura; Yasuhiro Shirasaki; Heita Kimizuka; Kazufumi Yachi; et al
出版日期：2024-04-10
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英俊亦巧 在 2025-12-26 15:51:50 发布自上海，悬赏 20 积分
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