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 Development of a magnetron sputtering apparatus equipped with superconducting bulk magnets for the preparation of optical multilayer films 制备光学多层膜的超导体磁控溅射装置的研制
相关领域
材料科学
溅射沉积
溅射
薄脆饼
腔磁控管
磁铁
光电子学
图层（电子）
超导电性
光学
薄膜
复合材料
纳米技术
电气工程
凝聚态物理
物理
工程类
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期刊：Physica C Superconductivity 作者：Takashi Yamaguchi; Hiroshi Ikuta; Y. Yanagi; Yoshitaka Itoh; Tetsuo Oka; et al 出版日期：2007-06-06 |
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