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标题
Development of a magnetron sputtering apparatus equipped with superconducting bulk magnets for the preparation of optical multilayer films
制备光学多层膜的超导体磁控溅射装置的研制
相关领域
材料科学 溅射沉积 溅射 薄脆饼 腔磁控管 磁铁 光电子学 图层（电子） 超导电性 光学 薄膜 复合材料 纳米技术 电气工程 凝聚态物理 物理 工程类
网址
https://doi.org/10.1016/j.physc.2007.04.310
DOI
10.1016/j.physc.2007.04.310 doi
其它 期刊：Physica C Superconductivity
作者：Takashi Yamaguchi; Hiroshi Ikuta; Y. Yanagi; Yoshitaka Itoh; Tetsuo Oka; et al
出版日期：2007-06-06
求助人
小白熊温妮莎 在 2025-07-12 17:03:46 发布自北京，悬赏 10 积分
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