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标题
High-Performance Oxide Thin-Film Transistors with Atomic Layer Deposition-Grown HfO2/BeO Hetero-Dielectric
原子层沉积HfO2/BeO异质介质高性能氧化物薄膜晶体管
相关领域
原子层沉积 材料科学 电介质 图层（电子） 氧化物 光电子学 高-κ电介质 薄膜晶体管 晶体管 沉积（地质） 薄膜 纳米技术 分析化学（期刊） 化学 冶金 电气工程 电压 生物 工程类 古生物学 色谱法 沉积物
网址
https://doi.org/10.1021/acs.nanolett.5c00552
AI链接 nih.govdoi.org
DOI
10.1021/acs.nanolett.5c00552 doi
其它 期刊：Nano Letters
作者：Sein Lee; Yoonseo Jang; Wooho Ham; Jonghyun Bae; Kyung-Hwan Kim; et al
出版日期：2025-04-20
求助人
邓邓邓 在 2025-04-26 22:29:46 发布自新疆，悬赏 10 积分
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