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标题
Effect of ZrO2 interfacial layer on forming ferroelectric HfxZryOz on Si substrate
ZrO2界面层对在Si衬底上形成铁电体HfxZryOz的影响
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网址
https://aip.scitation.org/doi/pdf/10.1063/1.5124402
AI链接 scitation.org scitation.orgdoi.org
DOI
10.1063/1.5124402 doi
其它 期刊：AIP Advances
作者：Sang Jae Lee; Min Ju Kim; Tae Yoon Lee; Tae In Lee; Jae Hoon Bong; et al
出版日期：2019-12-01
求助人
叶子 在 2025-06-19 17:59:32 发布自湖北，悬赏 10 积分
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