Roughness propagation during selective epitaxy of SiGe on patterned Si fins

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标题	Roughness propagation during selective epitaxy of SiGe on patterned Si fins
网址	http://dx.doi.org/10.1116./6.0000871
DOI	10.1116./6.0000871 doi
其它	期刊：作者：出版日期：
求助人	Mr_龙在天涯在 2026-10-08 17:22:47 发布自上海，悬赏 30 积分
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