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标题
Enhancement of Piezoelectric Response in Scandium Aluminum Nitride Alloy Thin Films Prepared by Dual Reactive Cosputtering
网址
https://doi.org/10.1002/adma.200802611
DOI
10.1002/adma.200802611 doi
其它 期刊：Advanced Materials
作者：Morito Akiyama; Toshihiro Kamohara; Kazuhiko Kano; Akihiko Teshigahara; Yukihiro Takeuchi; et al
出版日期：2008-12-02
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cbb 在 2026-09-29 10:56:27 发布自江苏，悬赏 10 积分
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