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标题
Kinetics of Silane Decomposition in High-Pressure Confined Chemical Vapor Deposition of Hydrogenated Amorphous Silicon
网址
http://dx.doi.org/10.1021/acs.iecr.7b03515
DOI
10.1021/acs.iecr.7b03515 doi
其它 期刊：Industrial & Engineering Chemistry Research
作者：Seyed Pouria Motevalian; Stephen C. Aro; Hiu Y. Cheng; Todd D. Day; Adri C. T. van Duin; et al
出版日期：2017-12-18
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帅帅 在 2026-10-21 15:39:00 发布自浙江，悬赏 10 积分
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