Impact of Co-reactants on the material and electrical properties of ALD-grown Al2O3

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标题	Impact of Co-reactants on the material and electrical properties of ALD-grown Al2O3
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S02728...
DOI	10.1016/j.ceramint.2026.05.430 doi
求助人	DodoWang 在 2026-10-13 19:01:01 发布自比利时，悬赏 20 积分
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