Atomic-scale characterization of defects generation during fatigue in ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 films: vacancy generation and lattice dislocation

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标题	Atomic-scale characterization of defects generation during fatigue in ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 films: vacancy generation and lattice dislocation
网址	http://dx.doi.org/10.1109/iedm19574.2021.9720565
DOI	10.1109/iedm19574.2021.9720565 doi
其它	期刊：2021 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM) 作者：Yunzhe Zheng; Yonghui Zheng; Zhaomeng Gao; Jun-Hui Yuan; Yan Cheng; et al 出版日期：2021-12-11
求助人	神勇不乐在 2026-09-29 17:49:55 发布自北京，悬赏 10 积分
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