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Fabrication of subwavelength aluminum wire grating using nanoimprint lithography and reactive ion etching |
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期刊:Microelectronic Engineering 作者:Seh-Won Ahn; Ki-Dong Lee; Jin-Sung Kim; Sang Hoon Kim; Sarng H. Lee; et al 出版日期:2005-01-13 |
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(2025-6-4)