Ultra-Shallow Junctions Fabrication by Plasma Immersion Implantation on PULSION® Followed by Laser Thermal Processing

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标题	Ultra-Shallow Junctions Fabrication by Plasma Immersion Implantation on PULSION® Followed by Laser Thermal Processing
网址	https://doi.org/10.1063/1.3033665
DOI	10.1063/1.3033665 doi
其它	期刊：AIP Conference Proceedings 作者：Frank Torregrosa; Hasnaa Etienne; Guillaume Sempere; Gilles Mathieu; Laurent Roux; et al 出版日期：2008-11-06
求助人	kudward 在 2026-10-11 20:46:54 发布，悬赏 10 积分
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