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  A Study on the Holding of LED Sapphire Substrate Using Alumina Electrostatic Chuck with Fine Electrode Pattern 微细电极图案氧化铝静电卡盘夹持LED蓝宝石衬底的研究
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期刊：Journal of the Korean institute of surface engineering 作者：Hyungju Kim; Yong-Gun Shin; Ho-Kap Ahn; Dong-Won Kim 出版日期：2011-08-31 |
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