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标题
A Simplified Fabrication Approach for PMMA Resists inElectron-Beam Lithography
相关领域
抵抗 制作 平版印刷术 材料科学 纳米技术 光刻 电子束光刻 光电子学 下一代光刻 X射线光刻 纳米光刻 计算光刻 光刻胶
网址
DOI
10.37358/mp.25.3.71907 doi
其它 期刊:Materiale plastice
作者:BANGCHI HUANG; QIANYI YANG; Xiang Li; JIANLIN SHI; Zhipeng Zhong; et al
出版日期:2025-01-01
求助人
柏不斜 在 2026-05-25 11:52:46 发布自北京,悬赏 10 积分
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