| 标题 |
  Photo-enhanced metal-assisted chemical etching of α-gallium oxide grown by halide vapor-phase epitaxy on a sapphire substrate and its applications 相关领域
材料科学
外延
蚀刻（微加工）
蓝宝石
光电子学
各向同性腐蚀
制作
基质（水族馆）
镓
卤化物
氧化物
金属
干法蚀刻
纳米技术
无机化学
激光器
光学
化学
图层（电子）
冶金
医学
替代医学
病理
地质学
物理
海洋学
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期刊：Materials Advances 作者：Woong Choi; Dae-Woo Jeon; Ji-Hyeon Park; Dongryul Lee; Soobeen Lee; et al 出版日期：2023 |
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