材料科学
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作者
Woong Choi,Dae‐Woo Jeon,Ji-Hyeon Park,Dongryul Lee,S. W. Lee,Kwang Hyeon Baik,Jihyun Kim
出处
期刊：Materials advances
[Royal Society of Chemistry]
日期：2023-01-01
卷期号：4 (19): 4520-4527
被引量：3
摘要
Our study presents photo-enhanced metal-assisted chemical etching of α-Ga 2 O 3 and its properties at various temperatures. The results show great potential for use in α-Ga 2 O 3 -based optoelectronic device fabrication.
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