Machine learning-powered etch bias prediction for etch retargeting flow enhancement

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标题	Machine learning-powered etch bias prediction for etch retargeting flow enhancement
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.3052065
DOI	10.1117/12.3052065 doi
其它	期刊：DTCO and Computational Patterning IV 作者：Jaeyeol Maeng; Soo Kheng Tan; Yee Mei Foong; Bennett Smith; Yixiao Zhang; et al 出版日期：2025-04-22
求助人	tester_gater 在 2026-09-08 18:10:21 发布自上海，悬赏 20 积分
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