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 Numerical simulation of plasma in a 915 MHz MPCVD reactor using a simplified 2D structure 相关领域
等离子体
计算机模拟
计算物理学
电子密度
材料科学
旋转对称性
联轴节（管道）
机械
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等离子体参数
毫米
原子物理学
功率（物理）
物理
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期刊：Vacuum 作者：Xue Liu; Cuiting Zhang; Xianyi Lv; Qiliang Wang; Liuan Li; et al 出版日期：2026-02-05 |
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