Optimization of the CMP Process with Colloidal Silica Performance for Bulk AlN Single Crystal Substrate

已完结

文献求助详情

标题	Optimization of the CMP Process with Colloidal Silica Performance for Bulk AlN Single Crystal Substrate
网址	http://kjmm.org/upload/pdf/kjmm-2019-57-9-582.pdf
DOI	10.3365/kjmm.2019.57.9.582 doi
其它	期刊：Korean Journal of Metals and Materials 作者：Hyo Sang Kang; J. Lee; Jae Hwa Park; H. Lee; W. Park; et al 出版日期：2019-08-21
求助人	伊卡洛斯在 2026-08-06 17:46:44 发布自重庆，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

站在巨人的肩膀上，才更有可能跳的更远

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 土豪的巨人发布了新的文献求助10

刚刚; 李健的小迷弟上传了应助文件

1秒前; Ning00000完成签到，获得积分10

1秒前; meimei完成签到，获得积分10

2秒前; 彭于晏上传了应助文件

3秒前; JamesPei的应助被秦111采纳，获得10

3秒前; 嘎嘣脆完成签到，获得积分10

4秒前; 虚幻伯云发布了新的文献求助10

4秒前; 可爱忆安完成签到，获得积分10

6秒前; messredflyaway发布了新的文献求助10

7秒前; 桐桐上传了应助文件

7秒前; orixero的应助被cxr采纳，获得10

7秒前; prigogin上传了应助文件

7秒前; 顺利的莺发布了新的文献求助10

8秒前; zz完成签到，获得积分10

8秒前; bamboo发布了新的文献求助10

8秒前; jwk完成签到，获得积分10

9秒前; 星上尔烟完成签到，获得积分10

9秒前; 乔治完成签到，获得积分10

9秒前; aaaa上传了应助文件

10秒前; 脑洞疼上传了应助文件

11秒前; iris完成签到，获得积分10

11秒前; 小小怪大士完成签到，获得积分10

12秒前; 丘比特上传了应助文件

13秒前; Ava的应助被felix采纳，获得10

13秒前; 彭于晏上传了应助文件

14秒前; rmrb完成签到，获得积分10

14秒前; 田小班发布了新的文献求助10

14秒前; JamesPei上传了应助文件

15秒前; 所所的应助被南浔采纳，获得10

15秒前; 科研通AI6.4的应助被寒山采纳，获得10

16秒前; 祥子的骆驼发布了新的文献求助10

16秒前; aaaa的应助被童梦采纳，获得10

16秒前; Sherry完成签到，获得积分10

18秒前; CodeCraft上传了应助文件

18秒前; 秦111发布了新的文献求助10

18秒前; 李健的应助被messredflyaway采纳，获得10

18秒前; 酷波er的应助被LSH慧采纳，获得10

18秒前; 一年5篇发布了新的文献求助10

19秒前; song完成签到，获得积分10

19秒前