Design of an adaptive feedforward/feedback combined control for piezoelectric actuated micro positioning stage

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标题	Design of an adaptive feedforward/feedback combined control for piezoelectric actuated micro positioning stage
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S014163592...
DOI	10.1016/j.precisioneng.2022.08.002 doi
其它	期刊：Precision engineering 作者：Beichao Shi; Rui Shi; Fujun Wang 出版日期：2022-08-01
求助人	杨洋在 2026-09-12 13:15:10 发布自黑龙江，悬赏 10 积分
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