A novel chemical mechanical polishing slurry for yttrium aluminum garnet crystal - 科研通

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标题	A novel chemical mechanical polishing slurry for yttrium aluminum garnet crystal
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2019.143601
DOI	10.1016/j.apsusc.2019.143601 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Zili Zhang; Zhuji Jin; Jiang Guo; Xiaolong Han; Qing Mu; et al 出版日期：2019-12-01
求助人	一二一在 2026-07-09 00:37:34 发布自浙江，悬赏 10 积分
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