Trivalent lanthanum and ytterbium doped meso-silica/ceria abrasive systems toward chemical mechanical polishing (CMP) and ultraviolet irradiation-assisted photochemical mechanical polishing (PCMP)

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标题	Trivalent lanthanum and ytterbium doped meso-silica/ceria abrasive systems toward chemical mechanical polishing (CMP) and ultraviolet irradiation-assisted photochemical mechanical polishing (PCMP)
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2024.159733
DOI	10.1016/j.apsusc.2024.159733 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Zihan Kou; Chao Wang; Wenjin Zhou; Ailian Chen; Yang Chen 出版日期：2024-02-20
求助人	一二一在 2026-07-08 23:34:33 发布自浙江，悬赏 10 积分
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