Multi-layer electroplated micro-spring array for MEMS probe card

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标题	Multi-layer electroplated micro-spring array for MEMS probe card
网址	https://www.semanticscholar.org/paper/884757ab9eda49b3a8c141...
DOI	10.1109/mems.2004.1290689 doi
其它	期刊：17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems. Maastricht MEMS 2004 Technical Digest 作者：K. Kataoka; T. Itoh; K. Inoue; T. Suga 出版日期：2004-09-27
求助人	渴望进步的新中国青年在 2026-07-04 16:04:48 发布自江苏，悬赏 10 积分
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