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 Modeling of SiO2 CVD from TEOS/ozone in a separate-gas-injection reactor 分离气体注入反应器中TEOS/ozone气相沉积SiO2的模拟
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期刊：Korean Journal of Chemical Engineering 作者：Eui Jung Kim; William N. Gill 出版日期：1998-01-01 |
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