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Vibrational Spectroscopy of Sulfur-Containing Silicon-Rich Silicon-Oxide Films Fabricated via a Coevaporation Technique 共蒸发技术制备含硫富硅氧化硅薄膜的振动光谱
相关领域
硅
材料科学
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期刊:Journal of the Korean Physical Society 作者:Byeong-Kyou Jin; Yong Gyu Choi 出版日期:2009-03-14 |
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