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 The Effects of Thermal Decomposition of Tetrakis-ethylmethylaminohafnium (TEMAHf) Precursors on HfO2Film Growth using Atomic Layer Deposition 相关领域
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期刊：Applied Science and Convergence Technology 作者：Nam Khen Oh; Jintae Kim; Jong-Ki Ahn; Goru Kang; So Yeon Kim; et al 出版日期：2016-05-30 |
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