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 Cooperative roles of chemical reactions and mechanical friction in chemical mechanical polishing of gallium nitride assisted by OH radicals: tight-binding quantum chemical molecular dynamics simulations 化学反应和机械摩擦在OH自由基辅助氮化镓化学机械抛光中的协同作用：紧束缚量子化学分子动力学模拟
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期刊：Physical Chemistry Chemical Physics 作者：Kentaro Kawaguchi; Yang Wang; Jingxiang Xu; Yusuke Ootani; Yuji Higuchi; et al 出版日期：2021-02-25 |
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