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 Optimization of oxygen flow rate toward high-quality ε-Ga2O3 thin films grown on sapphire substrates and solar-blind ultraviolet photodetectors 蓝宝石基片和日盲紫外光探测器上生长的高质量β-Ga 2 O3薄膜的氧气流量优化
相关领域
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期刊：Optical Materials 作者：Mengfan Xu; Yang Li; Chenglong Li; Yiyuan Liu; Guangqing Li; et al 出版日期：2025-04-01 |
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