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 Entrance Effects In A Horizontal Atmospheric-Pressure MOCVD Reactor 相关领域
受器
三甲基铟
金属有机气相外延
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Eric S. Johnson; G. E. Legg; N. E. Schumaker 出版日期：1987-04-20 |
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