Influence of etch profiles on the leakage current and capacitance of 3D DRAM strorage capacitors

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标题	[高分] Influence of etch profiles on the leakage current and capacitance of 3D DRAM strorage capacitors 刻蚀轮廓对三维DRAM存储电容器漏电流和电容的影响
网址	http://dx.doi.org/10.5573/JSTS.2019.19.2.208
DOI	10.5573/JSTS.2019.19.2.208 doi
其它	Shin Seongun; Yoon Gyuhan; Choi Woo Young;
求助人	biliobili 在 2025-07-28 22:54:37 发布自上海，悬赏 150 积分
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