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 Study of Etch Stop Layer on Characteristics of Amorphous Aluminum Oxide Thin Film 相关领域
材料科学
电介质
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期刊：Meeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society. CD-ROM) 作者：Sangwoo Lee; Joonbong Lee; Jaeyoung Yang; Taekjib Choi 出版日期：2022-07-07 |
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