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 Research on the formation and evolution mechanism of cracks in laser stealth dicing of silicon carbide crystals 碳化硅晶体激光隐身切割裂纹形成演化机理研究
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期刊：Journal of Molecular Graphics & Modelling 作者：Lei Han; Quanlong Wang; Chenglong Ma; Bangjie Gu; Xiaoqiang Li; et al 出版日期：2024-07-18 |
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