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 A novel design of capacitive MEMS multi-range accelerometer; FEM and numerical approach 一种新颖的电容式MEMS多量程加速度计设计；有限元与数值方法
相关领域
加速度计
电容感应
微电子机械系统
动态范围
电容
灵敏度（控制系统）
加速度
航程（航空）
足迹
声学
材料科学
刚度
弹簧（装置）
计算机科学
电子工程
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物理
结构工程
工程类
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古生物学
复合材料
电极
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期刊：Physica Scripta 作者：Reza Ahmadian Koochaksaraie; Farshad Barazandeh; Hamed Barati 出版日期：2023-10-17 |
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