Electrostatic modelling of dual frequency rf plasma discharges

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标题	Electrostatic modelling of dual frequency rf plasma discharges
网址	http://dx.doi.org/10.1088/0963-0252/13/3/016
DOI	10.1088/0963-0252/13/3/016 doi
其它	期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：P C Boyle; A R Ellingboe; M M Turner 出版日期：2004-07-13
求助人	UNIQ85 在 2026-09-18 20:34:11 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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