Precise and practical 3D topography simulation of high aspect ratio contact hole etch by using model optimization algorithm

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标题	Precise and practical 3D topography simulation of high aspect ratio contact hole etch by using model optimization algorithm
网址	https://doi.org/10.1116/6.0003515
DOI	10.1116/6.0003515 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Tetsuya Nishizuka; Ryo Igosawa; T. Yokoyama; Kaoru Sako; Hironori Moki; et al 出版日期：2024-06-10
求助人	Joyezhou 在 2026-08-16 01:25:42 发布自广东，悬赏 10 积分
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