An Integrated Microelectromechanical Conductivity–Temperature–Depth Sensor With Small Size, High Resolution, and High Accuracy

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标题	An Integrated Microelectromechanical Conductivity–Temperature–Depth Sensor With Small Size, High Resolution, and High Accuracy
网址	http://dx.doi.org/10.1109/jmems.2026.3713839
DOI	10.1109/jmems.2026.3713839 doi
其它	期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：Neng Wan; Liying Wang; Youxuan Fan; Peng Chen; Zong Tan; et al 出版日期：2026-01-01
求助人	pluto 在 2026-08-09 23:19:05 发布自美国，悬赏 10 积分
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