Advances and challenges in chemical mechanical polishing of silicon carbide: materials, mechanisms, and future directions

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标题	Advances and challenges in chemical mechanical polishing of silicon carbide: materials, mechanisms, and future directions
网址	https://doi.org/10.1039/D5TC03256C
DOI	10.1039/D5TC03256C doi
其它	期刊：Journal of Materials Chemistry C 作者：Ailin Li; Jiakai Zhou; Xinhuan Niu; Ziliang Liu; Qing Ma; et al 出版日期：2025-01-01
求助人	楼下太吵了在 2026-07-06 22:13:21 发布自天津，悬赏 10 积分
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