Enhancement of DOF through RET and mask manufacturability in high-NA EUV

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标题	Enhancement of DOF through RET and mask manufacturability in high-NA EUV
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.3055034
DOI	10.1117/12.3055034 doi
其它	期刊：DTCO and Computational Patterning IV 作者：Soobin Hwang; Werner Gillijns; Stefan De Gendt; Ryoung-Han Kim 出版日期：2025-04-22
求助人	ADChem_JH 在 2026-08-30 14:54:17 发布自上海，悬赏 20 积分
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