Effects of oxygen sources on the growth characteristics and dielectric properties of atomic-layer-deposited TiO2 films for aluminum electrolytic capacitors

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标题	Effects of oxygen sources on the growth characteristics and dielectric properties of atomic-layer-deposited TiO2 films for aluminum electrolytic capacitors
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.jssc.2024.124794
DOI	10.1016/j.jssc.2024.124794 doi
其它	期刊：Journal of Solid State Chemistry 作者：Xiang Li; Xianfeng Du; Zhuo Li; Yuan Guo; Zhongshuai Liang; et al 出版日期：2024-09-01
求助人	刘永海在 2026-07-20 17:03:02 发布自福建，悬赏 10 积分
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