Low temperature plasma enhanced atomic layer deposition of conducting zirconium nitride films using tetrakis (dimethylamido) zirconium and forming gas (5% H2 + 95% N2) plasma

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标题	Low temperature plasma enhanced atomic layer deposition of conducting zirconium nitride films using tetrakis (dimethylamido) zirconium and forming gas (5% H2 + 95% N2) plasma
网址	http://dx.doi.org/10.1116/1.4915122
DOI	10.1116/1.4915122 doi
求助人	缓缓则安在 2026-08-27 13:22:40 发布自江苏，悬赏 10 积分
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