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  Growth of Large-Area, Stress-Free, and Bulk-Like 3C-SiC (100) Using 3C-SiC-on-Si in Vapor Phase Growth 相关领域
材料科学
成核
化学气相沉积
外延
碳化硅
拉曼光谱
半最大全宽
残余应力
压力（语言学）
相（物质）
硅
气相
产量（工程）
分析化学（期刊）
复合材料
光电子学
光学
化学
热力学
物理
哲学
有机化学
图层（电子）
色谱法
语言学
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期刊：Materials 作者：P. Schuh; F. La Via; M. Mauceri; M. Zielinski; P. Wellmann 出版日期：2019-07-01 |
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