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标题
Ion erosion and elemental purity of deposited Si films on Al
铝上沉积硅膜的离子侵蚀和元素纯度
相关领域
材料科学 溅射 腐蚀 离子 离子束 分析化学（期刊） 等离子体 冶金 薄膜 纳米技术 环境化学 量子力学 生物 物理 古生物学 化学
网址
https://doi.org/10.1557/s43580-022-00435-8
AI链接 springer.comdoi.org
DOI
10.1557/s43580-022-00435-8 doi
其它 期刊：MRS Advances
作者：Walt Wriggins; Matthew Wong; Avery Green; John Schuur; Michael Current
出版日期：2023-02-02
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