Ion erosion and elemental purity of deposited Si films on Al

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标题	Ion erosion and elemental purity of deposited Si films on Al 铝上沉积硅膜的离子侵蚀和元素纯度相关领域材料科学溅射腐蚀离子离子束分析化学（期刊）等离子体冶金薄膜纳米技术环境化学量子力学生物物理古生物学化学
网址	https://doi.org/10.1557/s43580-022-00435-8
DOI	10.1557/s43580-022-00435-8 doi
其它	期刊：MRS Advances 作者：Walt Wriggins; Matthew Wong; Avery Green; John Schuur; Michael Current 出版日期：2023-02-02
求助人	谨慎歌曲在 2025-08-30 02:11:50 发布自重庆，悬赏 10 积分
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