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Anisotropic Diffusion Evolution of Vacancies Created by Oxygen Etching on a Si Surface
硅表面氧刻蚀空位的各向异性扩散演化
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网址
https://doi.org/10.1088/0256-307x/28/7/076801
DOI
10.1088/0256-307x/28/7/076801 doi
其它 期刊：Chinese Physics Letters
作者：Shuhua Wang; Qun Cai
出版日期：2011-07-01
求助人
yuhuan 在 2025-10-14 07:22:52 发布自浙江，悬赏 10 积分
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