Effect of oxygen flow on micro-defects and laser damage resistance of ion-beam sputtered hafnium dioxide films

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标题	Effect of oxygen flow on micro-defects and laser damage resistance of ion-beam sputtered hafnium dioxide films
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2025.114443
DOI	10.1016/j.vacuum.2025.114443 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Gang Hu; Mingdong Kong; Ming Wei; Weidong Gao; Bo Wang; et al 出版日期：2025
求助人	北极星162 在 2026-05-17 14:46:34 发布自陕西，悬赏 10 积分
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