Plasma damage mechanisms in low k organosilicate glass and their inhibition by Ar ion bombardment

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标题	Plasma damage mechanisms in low k organosilicate glass and their inhibition by Ar ion bombardment
网址	https://doi.org/10.1116/1.4838935
DOI	10.1116/1.4838935 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 作者：Haseeb Kazi; Jeffry A. Kelber 出版日期：2014
求助人	研友_LJemK8 在 2026-04-28 21:07:25 发布自山东，悬赏 10 积分
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