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 A Wafer Level Vibration Test System for MEMS Accelerometer Sensitivity Measurement and Calibration 相关领域
加速度计
振动
微电子机械系统
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期刊：Volume 13: Nano-Manufacturing Technology; and Micro and Nano Systems, Parts A and B 作者：Wei Chen; Robert O’Reilly; Huy Tang 出版日期：2009-08-28 |
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