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标题
Effect of nonvertical ion bombardment due to edge effects on polymer surface morphology evolution and etching uniformity
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网址
http://dx.doi.org/10.1116/6.0001015
DOI
10.1116/6.0001015 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
作者：Adam Pranda; Chen Li; Youngsik Seo; Gottlieb S. Oehrlein
出版日期：2021-05-10
求助人
沉默甜瓜 在 2026-09-20 09:37:19 发布自湖南，悬赏 10 积分
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